2023年9月1日,工信产业研究院总经理苏铮带队赴中国科学院半导体研究所对超宽禁带半导体材料研究组的“第三代半导体氮化镓产业化项目”进行了参观调研。
调研组对中国科学院半导体研究所相关重点研究方向、科研成果及自制MOCVD设备进行了现场调研,超宽禁带半导体材料研究组说明了氮化镓材料与器件制备生产日、中、美三种技术路线,并就蓝宝石衬底氮化镓LED外延片制备生产技术、硅衬底氮化镓HEMT外延片制备生产技术及氮化镓单晶衬底材料及垂直结构氮化镓功率电子器件制备生产技术三个重点项目进行了详细介绍。
调研组与超宽禁带半导体材料研究组就第三代半导体氮化镓核心关键技术**、技术产业化推广及下一步合作方向进行了交流和研讨。